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中古KLA-Tencor製品

KLA-Tencor保守サービス

2000年製造前後の装置を中心にメンテサービスを行っております。是非御社の経費削減にお役立てください。

装置名 定期
点検
リファブ 移設 トラブル
対応
部品
供給
KLA2132,2135
KLA2138,2139
KLA2350,2351,2360,2365,2367
AITシリーズ 1, 2, 3, XP, UV
5200XP,Archerシリーズ
SFS6xxx
SP1
AlphaStep(200,500、IQ)
Pシリーズ(P1,2,10,11,15,16,22)
RSシリーズ(RS35,50,55,75,100)
Flexusシリーズ(2320,2908,5400,5500)
Thermawave(OP2600,TP500)
INSシリーズ(3000,3300)
INMシリーズ(100,200,300)

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