FS0005
クリーンルーム内で使用停止後、保管中。 装置視察随時可能です。
| Number | FS0005 |
| Process | Metrology |
| Name | DR-SEM |
| Manufacturer | AMAT |
| Model | SEMVISION cX |
| Year | 2002 |
| Specification | 200mm |
| Remarks |
クリーンルーム内で使用停止後、保管中。 装置視察随時可能です。
| Number | FS0005 |
| Process | Metrology |
| Name | DR-SEM |
| Manufacturer | AMAT |
| Model | SEMVISION cX |
| Year | 2002 |
| Specification | 200mm |
| Remarks |