FS0008 TEL 酸化膜エッチャー Oxide Etch
現在 クリーンルーム内で停止中です。 装置視察は可能となりますのでお気軽にお問い合わせ下さい
SCCM X 2 Chamber
Number | FS0008 TEL 酸化膜エッチャー Oxide Etch |
Process | Etch |
Name | Oxide |
Manufacturer | TEL |
Model | U2e-855SS |
Year | |
Specification | 200mm |
Remarks |
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SCCM X 2 Chamber
Number | FS0008 TEL 酸化膜エッチャー Oxide Etch |
Process | Etch |
Name | Oxide |
Manufacturer | TEL |
Model | U2e-855SS |
Year | |
Specification | 200mm |
Remarks |