神奈川県藤沢倉庫に保管中　随時視察可能です。

200ｍm 300mm 対応装置　（2001年製造）
実機視察可能です（神奈川県）　

8inch

完全O/H実施済みとなります。
当社クリーンルームに展示保中。
別途費用及び使用内容確認は必要となりますが　露光デモも可能でございます。

■ウエハ　　　8インチ　（別途変更改造可能）
■レチクル　　6インチ

詳細はご連絡ください

Yamato Scientific　CLEAN OVEN DT610

M&W SYSTEMS FLOWRITE RECIRCULATNG COOLING SYSTEM

EBARA DRY PUMP AA40W

NESLAB HX150 RECIRCULATING CHILLER

EBARA DRY PUMP

KLA-Tencor社製　段差計

6インチ搬送タイプ　2台在庫がございます。

当社　藤沢ストックセンターに保管中。　随時視察可能です

日立ハイテク社製　ノンパターンウエハ欠陥検査装置（ゴミ検）LS9200　当社クリーンルームに入庫しました。300㎜用　40nmの最高検出感度を誇ります。装置リファブの上、立ち上げを請け負います。SP1 DLS
SP2、SP3をご検討の装置メーカーさん向けに、安価で提案させていただきます。

２C2D　L⇒R

藤沢ストックセンターでデモ可能です。

本装置はOS　DOSではなくWindows NTとなっている装置なので
非常に使いやすくなっております。
弊社では本装置の部品どり装置も数機保有しておりますので
部品供給・メンテナンスサポートなど自信を持ってご提供可能です

動作確認終了し、現在弊社クリーンルームでデモ可能です。　

リファブ済の状態で弊社クリーンルームに保管しております。
デモも可能です。

現在、クリーンルームで保管中。即納対応可能です。

1ｘ塗布　１ｘ現像のフットプリントが小さいタイプの装置です。
実験用として最適です。　現在4インチですが6インチ・8インチへの改造可能です。

現在弊社韓国倉庫に保管中。随時視察可能ですが装置は解体している状態です。

クリーンルーム内に保管中です。　電源等は外しておりますので外観のみの視察可能です。

部品取りしておりますので部品販売がメインの装置となります。　必要部品名を頂ければ部品ごとにお見積りさせて頂きます。

クリーンルーム内で使用停止後、保管中。　装置視察随時可能です。　

現在クリーンルーム内で停止中。　

槽構成：　HF　ONB2　SC-2　ONB1　LPD　

現在　クリーンルーム内で停止中です。　装置視察は可能となりますのでお気軽にお問い合わせ下さい
SCCM　X　２　Chamber

当社温調倉庫にて保管中

現在　当社温調倉庫にて保管中

200㎜　R1　Chamber

8インチSMIF　部品欠品ありますので部品取り用となります。

現在弊社横浜テックセンター展示中　リファブ前につき納期2か月

藤沢ストックセンター展示中

藤沢テックセンターに保管中。　随時確認可能

200mm用ですが6インチまたは１２インチへの改造可能です。
２０１７年３月に弊社横浜テックセンターに入荷いたします。

200mm用の装置ですが他インチサイズへの改造承ります。

現在売却済みですが10月に入荷予定となっております。

売却済みとなっております。　近日中に6220の入荷がございます。
入荷の情報は弊社HPの新着ページでご覧いただくかメールを頂ければ入荷後にメールで情報提供させて頂きます。

本装置は測定デモ可能です。　お気軽にお問い合わせください。

搬送装置が無いタイプのマニュアル装置となります。　弊社韓国テックセンターとなりますがデモ可能です。
写真では塗装剥がれなどございますが受注後に修正し納入させて頂きます。

装置解体後、クリーンルーム内保管しております。　装置視察随時可能です　（韓国倉庫）

現在　クリーンルーム内に保管中。　解体状態ですが視察確認可能です　（弊社韓国倉庫）

クリーンルーム内に保管中です。　槽構成など資料ございますのでお気軽にお問い合わせください。

現在クリーンルーム内に保管中です。　視察は随時可能です。