WiN-10

4～12インチのノンパターンウェハーに対応した異物検査装置で、パワー・ロジックデバイスの製造過程での各種装置のパーティクル管理に適しています。
独自の光学系技術により金属膜での感度も従来の同等機に比べて劇的な向上を図っているほか、24インチの大型モニターを搭載。
タッチパネル操作も可能にするなど、優れた操作性を意識した設計となっています。

安心の国内設計・製造

4インチ、5インチ、6インチ、8インチ、12インチWaferに対応

SiCウェハ対応

大型モニターでの高い操作性

最新光学系搭載

最高感度60nm（Bare Si）

メタル膜上も高感度検査

SFS6420からの代替機として

詳細はお問合せください。

NRS2000

欠陥レビューに欠かせない光学式の高性能顕微鏡です。
欠陥検査装置で検出した欠陥の位置座標を取り込み、高性能顕微鏡によって異物や欠陥の形状等を詳しく調べることが出来ますので欠陥発生の原因特定に貢献し、歩留まり改善に寄与します。

安心の国内製造

全部品が日本国内製なので、万が一の際も迅速に手配・交換できます。

4インチ、5インチ、6インチ、8インチWaferに対応

異なるサイズのWaferもインチコンバージョン無しで検査できます。

Leica製品からの置き換えに最適です

詳細はお問合せください。

欠陥データ管理システム（Mirero/Data Manager）

DMS（欠陥管理システム）点検・設備の各種データを分析・管理するシステム

欠陥検出したデータを効率よく管理することができるシステムです。 KLA-Tencorの場合は2552 ,Klarityからの置換えに最適です。