半導体製造装置・検査装置の保守サービス

2000年製造前後の半導体製造装置を中心に保守サービスを行っております。是非御社の経費削減にお役立てください。

装置名定期点検リファブ移設トラブル対応部品供給
KLA2132,2135◎◎◎◎◎
KLA2138,2139◎◎◎◎◎
KLA2350,2351,2360,2365,2367◎◎◎◎◎
AITシリーズ 1, 2, 3, XP, UV◎◎◎○◎
5200XP,Archerシリーズ○○○○○
SFS6xxx◎◎◎○
SP1◎◎◎○○
AlphaStep（500､IQ）◎◎◎◎◎
Pシリーズ（P10,11,15,16,22）◎◎◎◎◎
RSシリーズ（RS35,50,55,75,100）◎◎◎◎◎
Flexusシリーズ（2320,2908,5400,5500）◎◎◎○◎
Thermawave(OP2600,TP500)◎◎◎○◎
INSシリーズ(3000,3300)◎◎◎◎◎
INMシリーズ(100,200,300)◎◎◎◎◎
SEM Vision cX◎○◎◎○
SEM Vision G2◎○◎◎○
SEM Vision G3◎○◎◎◎
SEM Vision G4◎○◎◎△
Vera/NanoSEM◎△○○○
Verity2○△○○△
Compass◎△○○△
Complus◎△○○△
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