独自の光学系技術によりパーティクル測定の感度を向上

4～12インチのノンパターンウエーハに対応したウエーハ欠陥検査装置です。
パワー・ロジックデバイスの製造過程での各種装置のパーティクル測定に適しています。
独自の光学系技術により金属膜での感度も従来の半導体異物検査装置に比べて劇的な向上を図りました。
また、24インチの大型モニターを搭載、タッチパネル操作も可能にするなど、優れた操作性を意識した設計となっています。

• 安心の国内設計・製造
• 国内サポートチームによる安心のサポート体制
• 4インチ、5インチ、6インチ、8インチ、12インチウェーハに対応
• SiCウエーハ対応
• パターン無しウェーハ対応
• 24インチの大型モニター・タッチパネルで高い操作性
• 最新光学系技術搭載
• 最高感度60nm（Bare Si）
• メタル膜上も高感度に検査可能（独自可変ビーム径制御）
• KLA Surfscanシリーズ（6220　6420　SP1など）からの代替機として

実機でのデモを実施中です。高感度の品質をお確かめください。
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