独自の光学系技術により感度を向上

4～12インチのノンパターンウェハーに対応した異物検査装置で、パワー・ロジックデバイスの製造過程での各種装置のパーティクル管理に適しています。
独自の光学系技術により金属膜での感度も従来の同等機に比べて劇的な向上を図っているほか、24インチの大型モニターを搭載。
タッチパネル操作も可能にするなど、優れた操作性を意識した設計となっています。

• 安心の国内設計・製造
• 4インチ、5インチ、6インチ、8インチ、12インチWaferに対応
• SiCウェハ対応
• 大型モニターでの高い操作性
• 最新光学系搭載
• 最高感度60nm（Bare Si）
• メタル膜上も高感度検査
• SFS6420からの代替機として

実機でのデモを実施中です。高感度の品質をお確かめください。
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