独自の光学系技術によりパーティクル測定の感度を向上

2～12インチのノンパターンウエハに対応したウエハ欠陥検査装置です。
パワー・ロジックデバイスの製造過程でのパーティクル測定に適しています。
独自の光学系技術により金属膜での感度も従来の半導体異物検査装置に比べて劇的な向上を図りました。
また、24インチの大型モニターを搭載、タッチパネル操作も可能にするなど、優れた操作性を意識した設計となっています。

• 国内サポートチームによる安心のサポート体制
• 2～12インチウエハに対応
• ガラス保持基板結合ウエハ対応
• 24インチの大型モニター・タッチパネルで高い操作性
• 最新光学系技術搭載により、金属膜・レジスト・酸化膜など　高精度測定を実現
• 最高感度46nm（Bare Si　WiN20）
• メタル膜上も高感度に検査可能（独自可変ビーム径制御）
• トプコン　WM1500 1700 2500 300　KLA Surfscanシリーズ（6220　6420　SP1など）からの代替機として
  
  ■WiNシリーズ　パンフレット　PDF版　　
  　　　
  　　　　

実機でのデモを実施中です。高感度の品質をお確かめください。
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