日立ハイテク社製　ノンパターンウエハ欠陥検査装置（ゴミ検）LS9200　当社クリーンルームに入庫しました。300㎜用　40nmの最高検出感度を誇ります。装置リファブの上、立ち上げを請け負います。SP1 DLS
SP2、SP3をご検討の装置メーカーさん向けに、安価で提案させていただきます。